我院季涛助理教授最新的研究成果“A simple method for preparing a TiO2-based back-gate controlled N-channel MSM-IGFET UV photodetector”在英国皇家化学学会(Royal Society of Chemistry, 简称RSC)《Journal of Materials Chemistry C》（JCR一区，IF=7.059）杂志上在线发表。深圳技术大学健康与环境工程学院为本文的第一及唯一通讯单位，季涛助理教授为第一作者及通讯作者，我院胡俊青教授为共同通讯作者。相关技术在近期也获得了国家发明专利授权（专利号：ZL201910611294.4），专利权人是深圳技术大学。

在现代光电探测技术中，光电探测器可以在很多领域可以找到相关应用。氧化钛(TiO2)由于其高折射率，优异的电性能和良好的化学稳定性，在太阳能电池、光催化反应、LED、光电探测器等领域引起了广泛关注。同时也是光电检测中紫外检测理想的半导体。该团队利用在含氧环境下煅烧ALD（原子层逐层沉积的方法）制得的TiO2薄膜，使得TiO2薄膜由非晶向局部单晶转变，形成鱼鳞状的外貌，并减少了材料中的氧缺陷。然后基于绝缘栅型金属-半导体-金属（MSM）结构，利用简单的掩模版方式开发了薄膜型绝缘栅场效应（MOSFET）光电晶体管。通过栅极电压可调控TiO2的沟道载流子分布以及耗尽层特性，提升器件对紫外光探测能力。由此制得的光电探测器件在提升了光电探测的性能的同时，又让器件具备了栅极电压调控光谱响应的能力。这种设备的开发将有助于降低光电设备制造成本，优化光电检测设备的性能并促进光电检测应用。

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https://pubs.rsc.org/en/content/articlelanding/2020/TC/C9TC05424C#!divAbstract