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英国皇家化学学会《Journal of Materials Chemistry C》杂志刊登健康与环境工程学院季涛助理教授在光电传感方面的研究进展!

发布时间:2021-05-25 17:40 来源: 点击量:

我院季涛助理教授最新的研究成果“A simple method for preparing a TiO2-based back-gate controlled N-channel MSM-IGFET UV photodetector”在英国皇家化学学会(Royal Society of Chemistry, 简称RSC)《Journal of Materials Chemistry C》(JCR一区,IF=7.059)杂志上在线发表。深圳技术大学健康与环境工程学院为本文的第一及唯一通讯单位,季涛助理教授为第一作者及通讯作者,我院胡俊青教授为共同通讯作者。相关技术在近期也获得了国家发明专利授权(专利号:ZL201910611294.4),专利权人是深圳技术大学。

在现代光电探测技术中,光电探测器可以在很多领域可以找到相关应用。氧化钛(TiO2)由于其高折射率,优异的电性能和良好的化学稳定性,在太阳能电池、光催化反应、LED、光电探测器等领域引起了广泛关注。同时也是光电检测中紫外检测理想的半导体。该团队利用在含氧环境下煅烧ALD(原子层逐层沉积的方法)制得的TiO2薄膜,使得TiO2薄膜由非晶向局部单晶转变,形成鱼鳞状的外貌,并减少了材料中的氧缺陷。然后基于绝缘栅型金属-半导体-金属(MSM)结构,利用简单的掩模版方式开发了薄膜型绝缘栅场效应(MOSFET)光电晶体管。通过栅极电压可调控TiO2的沟道载流子分布以及耗尽层特性,提升器件对紫外光探测能力。由此制得的光电探测器件在提升了光电探测的性能的同时,又让器件具备了栅极电压调控光谱响应的能力。这种设备的开发将有助于降低光电设备制造成本,优化光电检测设备的性能并促进光电检测应用。

论文链接:

https://pubs.rsc.org/en/content/articlelanding/2020/TC/C9TC05424C#!divAbstract

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